Dat heeft ASML maandag bekendgemaakt. De deal met Samsung maakt deel uit van een partnerprogramma dat het bedrijf heeft opgezet om klanten te laten meebetalen aan het peperdure onderzoek naar nieuwe technologie, waarmee nog kleinere en efficiëntere computerchips kunnen worden gemaakt. Dat programma, ter waarde van 1,38 miljard euro, is nu afgerond, aldus ASML.

Het Amerikaanse Intel was vorige maand de eerste klant die een partnerovereenkomst sloot met ASML. Begin deze maand volgde TSMC uit Taiwan. Het was al bekend dat het Brabantse bedrijf, dat wereldwijd marktleider is op het gebied van machines waarmee schakelingen op schijfjes halfgeleidermateriaal worden geëtst, ook met Samsung in gesprek was over een soortgelijke deal.