Bouwen op microniveau bij ASML

VELDHOVEN (ANP) – Een gebouw maken waarbij de afwijkingen niet groter dan 0,3 millimeter groot mochten zijn, oftewel net iets meer dan de dikte van een ooghaar. Dat was de uitdaging waarvoor chipmachinefabrikant ASML een groep bouw- en installatiebedrijven een kleine 4 jaar geleden plaatste. Donderdag is de nieuwe ‘cleanroom’, die wordt gebruikt voor de nieuwste generatie machines, officieel geopend.

„Wat is gebeurd, is uniek”, zegt Ron de Goeij van Van Aken Architecten namens het bouwteam. „Er zijn geen referenties in de wereld hiervoor.” Behalve dat de bouwers erg nauwkeurig moesten zijn, was bij de start ook niet precies te voorspellen hoe het gebouw er uiteindelijk uit kwam te zien. ASML was namelijk ondertussen bezig met het ontwerp van de nieuwe, zeer complexe machines.

De nieuwste machines van ASML maken gebruik van extreem ultraviolet licht (EUV) om lijntjes op een chip te schrijven. Door de korte golflengte van dit licht kan de afstand tussen de lijntjes tot een minimum (momenteel 16 nanometer) worden beperkt. Dat is cruciaal voor de hoeveelheid informatie en rekenkracht die uiteindelijk in een chip kan, wat weer bepalend is voor de volgende generatie computers en smartphones.

Het Veldhovense bedrijf is de grootste chiptoeleverancier ter wereld. Vorige week maakte chipgigant Intel bekend 3,3 miljard in ASML te investeren, zodat het concern ook volgende generaties machines kan ontwikkelen.

Aangezien de machines op het niveau van een nanometer (een miljoenste van een millimeter) werken, kan zelfs het kleinste vuiltje het proces verstoren. Trillingen zijn uit den boze, waardoor in de constructie een halve Eiffeltoren aan staal verwerkt moest worden. Ook mocht de vloer bij een oppervlakte van een voetbalveld niet meer dan 1 millimeter in hoogte verschillen. De lucht in de cleanroom is 10.000 keer schoner dan in een operatiekamer.

De bouwbedrijven moesten flexibel en snel handelen om het tempo van ASML te kunnen bijhouden. „Waar we normaal gesproken vaak 5 jaar over dit soort projecten doen, moest het nu in 1,5 jaar”, zei Huub de Jong, projectleider bij Cofely, een bedrijf dat de technische installaties leverde voor de 43.000 vierkante meter aan cleanrooms.

In december 2010 kreeg Cofely te horen dat het elektrisch vermogen per cabine moest worden verdubbeld. „ We hadden toen al 80 procent van het ontwerp af en konden weer helemaal opnieuw beginnen om te zorgen dat twee keer zoveel technische installaties op dezelfde oppervlakte pasten. Met creatieve oplossingen en 8 weken vertraging is het gelukt. ”