De EUV-machines van ASML maken gebruik van zogeheten extreem ultraviolet licht. Dat is een lichtsoort met nog kortere lichtgolven dan gewoon uv-licht en daarmee zijn dunnere verbindingen op chips te maken. De technologie stelt fabrikanten in staat op nóg kleinere schaal schakelingen te tekenen op schijfjes halfgeleidermateriaal. Daardoor kan meer rekenkracht of opslagcapaciteit gebundeld worden op een kleinere chip. De apparaten kosten meer dan 100 miljoen euro per stuk en zijn zo groot als een bus.

De order is zelfs voor ASML een grote. De omzet over heel 2020 bedroeg 14 miljard euro. Het techbedrijf uit Veldhoven had eind vorig jaar voor 11,3 miljard euro aan orders openstaan.