Volgens het FD waren de daders van de spionage hooggeplaatste onderzoeksmedewerkers van het bedrijf, die indirecte banden hebben met het Chinese ministerie van Wetenschap en Technologie. Zij zouden ASML volgens de krant voor enkele honderden miljoenen euro’s schade hebben berokkend toen zij onder meer broncodes, software, prijsstrategieën en geheime gebruikershandleidingen buitmaakten.

ASML benadrukt dat er geen blauwdruk is buitgemaakt voor het maken van een lithografiemachine. Er is dus geen gevaar dat de Chinezen binnen korte tijd de machines van ASML kunnen kopiëren. De onderneming stelt dan ook gewoon te kunnen blijven handelen met China.

Uit het onderzoek van het FD komt naar voren dat de diefstal werd gepleegd onder regie van de in 2014 opgerichte ASML-concurrent XTAL. Het bedrijf wist de gestolen kennis in razend tempo te verwerken, en kaapte een jaar later al grote klanten weg bij ASML, waaronder elektronicagigant Samsung. Een rechter in Californië veroordeelde XTAL eind 2018 tot een schadevergoeding van 223 miljoen dollar, zo blijkt uit een vonnis dat tot nog toe onopgemerkt bleef, behalve op enkele juridische blogs.