ASML verkoopt momenteel hoofdzakelijk chipmachines die gebaseerd zijn op immersietechnologie. Daarbij wordt de lichtbundel waarmee schakelingen worden geëtst op plakjes halfgeleidermateriaal, nog scherper gesteld met behulp van een laagje vloeistof.

Nikon claimt dat het die techniek heeft ontwikkeld en dat ASML er zonder toestemming mee aan de haal is gegaan. Het bedrijf wil daarom een verkoopverbod en schadevergoeding afdwingen via juridische procedures in Nederland, Duitsland en Japan. De zaak in ons land is aanhangig gemaakt bij de rechtbank in Den Haag.

De ontwikkeling van immersietechnologie heeft volgens Nikon substantiële en aanhoudende investeringen gevergd. Door daar zonder te betalen gebruik van te maken heeft ASML de concurrentie ondergraven en zijn eigen marktpositie op oneerlijke wijze versterkt, vinden de Japanners.

ASML ontkent met klem dat het op enigerlei wijze inbreuk maakt op patenten van Nikon. Het Veldhovense bedrijf liet weten dat het zich krachtig zal verweren tegen de beschuldigingen en dat het daarbij alle opties in overweging neemt.

Bestuursvoorzitter Peter Wennink vindt de gang naar de rechter „ongefundeerd en onnodig”. Hij was er liever aan de onderhandelingstafel met de Japanners uitgekomen, maar die hebben daartoe volgens de topman geen enkele serieuze poging gedaan.

De twee bedrijven sloten in 2004 een akkoord over het wederzijds gebruik van elkaars gepatenteerde technologieën. Voor een deel van de octrooien liep die overeenkomst eind 2009 af. Daarna lukte het niet om tot nieuwe afspraken te komen.

Zeiss liet in een verklaring weten dat de aanklacht van Nikon „geen basis” heeft.